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제품명 : Mask Aligner (Mikasa MA-10)

***** 특 징 *****
- 균일하고 높은 조사분포
- 간단한 조작으로 전후, 상하제어
- 2 시야 현미경 채용으로 빠르고 확실한 Alignment 가능
- 다양한 Sample과 Mask 대응
- 가볍고 Compact 하여 이동 용이
 
***** 사 양 *****
모델 : Mikasa MA-10
현미경 : 쌍대물 쌍안현미경7형, 광축거리 약 18 to 60mm
조 명 : 100V-150W Halogen Lamp, 라이트 가이드식 수직반사
램프 하우스: φ130 평행광속, 셔터내장, 냉각팬 덕트 방식
노광 광원 : 초고압 수은등 250W (500W 사용가)
노광용 타이머 : 0 to 999.9 초 digital setting
공압계 : 현미경 구동용 : 0.5MPa
진공계 : 시료흡착용 : 0.08MPa
마스크홀더 : 진공흡착고정식
마스크글라스 : 진공흡착고정식(필름마스크 사용가능)
마스크사이즈 : Max. 5"x5"
시료대 : 진공흡착고정식
시료 : 진공흡착고정식
시료사이즈: Max. φ4" (Max. 2mm 두께)
조정자 이동거리 : X,Y : ±5mm(미동1/8mm) 1회전θ:70。(미동±7。)
Z : 3mm(미동0.2mm)
십자동 스테이지 이동범위 : X,Y : ±20mm
전원 : AC200V, 50/60Hz, 20A

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